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南兴股份取得一种带避让的往复式双联抛光装置专利,达到均匀抛光的...金融界2024年9月18日消息,天眼查知识产权信息显示,南兴装备股份有限公司取得一项名为“一种带避让的往复式双联抛光装置“,授权公告号 CN221716537U,申请日期为 2023 年 11 月。专利摘要显示,本实用新型涉及机械生产设备技术领域,公开了一种带避让的往复式双联抛光装置,包...

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台积电申请化学机械抛光设备及其操作方法专利,设备包含垫调节器金融界2024年4月10日消息,据国家知识产权局公告,台湾积体电路制造股份有限公司申请一项名为“化学机械抛光设备及其操作方法“,公开号CN117840916A,申请日期为2018年8月。专利摘要显示,本发明实施例涉及一种化学机械抛光设备及其操作方法。一种用于化学机械抛光的设备...

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华为公司申请化学机械抛光设备及其控制方法专利,显著提高硅片的...金融界2024年3月26日消息,据国家知识产权局公告,华为技术有限公司申请一项名为“化学机械抛光设备及其控制方法“,公开号CN117769478A,申请日期为2021年9月。专利摘要显示,本公开的实施例提供了一种化学机械抛光设备及其控制方法。该化学机械抛光设备包括抛光平台,适于...

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华海清科申请晶圆翻转装置及化学机械抛光设备专利,有效地实现对...金融界2024年3月23日消息,据国家知识产权局公告,华海清科股份有限公司申请一项名为“晶圆翻转装置及化学机械抛光设备“,公开号CN117733730A,申请日期为2023年12月。专利摘要显示,本申请提供了一种晶圆翻转装置及化学机械抛光设备。晶圆翻转装置包括:驱动单元,其包括伸...

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华海清科取得化学机械抛光头和抛光设备专利,实现保持环的底面形成...金融界2024年3月6日消息,据国家知识产权局公告,华海清科股份有限公司取得一项名为“一种化学机械抛光头和抛光设备“,授权公告号CN115106932B,申请日期为2021年11月。专利摘要显示,本发明公开了一种化学机械抛光头和抛光设备,所述化学机械抛光头包括主体部及保持环,所述...

华海清科申请晶圆承载装置及化学机械抛光设备专利,能有效调整承载...金融界2024年2月8日消息,据国家知识产权局公告,华海清科股份有限公司申请一项名为“晶圆承载装置及化学机械抛光设备“,公开号CN117506714A,申请日期为2023年12月。专利摘要显示,本申请提供一种晶圆承载装置及化学机械抛光设备。晶圆承载装置用于化学机械抛光设备,其包...

华海清科取得光学测量装置和化学机械抛光设备专利,实现在线测量...金融界2024年1月29日消息,据国家知识产权局公告,华海清科股份有限公司取得一项名为“一种用于CMP的光学测量装置和化学机械抛光设备“,授权公告号CN220389073U,申请日期为2023年7月。专利摘要显示,本实用新型公开了一种用于CMP的光学测量装置和化学机械抛光设备,所述...

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˙△˙ 华海清科申请抛光头及化学机械抛光设备专利,提高抛光头的兼容性金融界2024年3月20日消息,据国家知识产权局公告,华海清科股份有限公司申请一项名为“抛光头及化学机械抛光设备“,公开号CN117718878A,申请日期为2023年12月。专利摘要显示,本申请提供一种抛光头及化学机械抛光设备。抛光头包括:抛光头主体、弹性气膜、第一夹紧装置和...

华海清科申请晶圆抛光装置及化学机械抛光设备专利,实现了晶圆装卸...金融界2024年2月8日消息,据国家知识产权局公告,华海清科股份有限公司申请一项名为“晶圆抛光装置及化学机械抛光设备“,公开号CN117506709A,申请日期为2023年12月。专利摘要显示,本申请实施例提供了一种晶圆抛光装置及化学机械抛光设备。所述晶圆抛光装置,包括:晶圆装卸...

...清科获得发明专利授权:“一种用于化学机械抛光的承载头和抛光设备”证券之星消息,根据企查查数据显示华海清科(688120)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种用于化学机械抛光的承载头和抛光设备”,专利申请号为CN202111325238.8,授权日为2024年2月9日。专利摘要:本发明公开了一种用于化学机械抛光的承载头和抛光设备,包括主体部及保持环...