抛光盘_抛光盘

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福晶科技取得一种带出水口的柱面镜抛光盘专利,能有效的将抛光杂质...金融界2024年7月4日消息,天眼查知识产权信息显示,福建福晶科技股份有限公司取得一项名为“一种带出水口的柱面镜抛光盘“,授权公告号CN221248143U,申请日期为2023年12月。专利摘要显示,本实用新型公开了一种带出水口的柱面镜抛光盘,它包括抛光盘、连接头、气管,所述的抛...

华海清科申请抛光装置专利,实现抛光组件在抛光盘之间移动金融界2024年2月8日消息,据国家知识产权局公告,华海清科股份有限公司申请一项名为“一种抛光装置、抛光系统和抛光方法“,公开号CN117506707A,申请日期为2023年12月。专利摘要显示,本发明公开了一种抛光装置、抛光系统和抛光方法,所述抛光装置包括:抛光盘;装卸机构,与抛...

晶盛机电申请一种抛光设备及检测方法专利,达到了实时检测抛光垫及...浙江晶盛机电股份有限公司申请一项名为“一种抛光设备及检测方法“,公开号 CN202410868193.6,申请日期为 2024 年 7 月。专利摘要显示,本申请涉及半导体抛光技术领域,尤其是涉及一种抛光设备及检测方法,包括:抛光盘,所述抛光盘具有工作面;抛光垫,所述抛光垫粘接设置于所述工...

晶盛机电申请一种抛光设备专利,解决抛光垫状态无法检测的问题,达到...浙江晶盛机电股份有限公司申请一项名为“一种抛光设备“,公开号 CN202410874366.5,申请日期为 2024 年 7 月。专利摘要显示,本申请涉及半导体抛光技术领域,尤其是涉及一种抛光设备及检测方法,包括:抛光盘,所述抛光盘具有工作面;抛光垫,所述抛光垫粘接设置于所述工作面上;以及...

晶盛机电申请抛光机及抛光状态监测方法专利,可延长抛光机的使用...本发明提供了一种抛光机及抛光状态监测方法,属于晶片抛光技术领域,解决了现有技术抛光机停机次数多的问题。本发明的抛光机包括抛光盘,抛光盘上设有抛光垫,用于抛光晶片;抛光头,抛光头设置于抛光盘上方,抛光头包括:软基垫和本体,软基垫设置于抛光头底部,软基垫用于吸附晶片,本...

华海清科取得化学机械抛光系统专利,专利技术能实现模块化排列并...本实用新型公开了一种化学机械抛光系统,所述化学机械抛光系统包括前置单元、抛光单元和清洗单元,三者模块化排列设置;所述抛光单元包括抛光盘和装卸部,所述装卸部设置于抛光盘的侧方,所述装卸部的外周侧配置有抛光刷洗组件,以清洁完成抛光的晶圆;所述抛光刷洗组件包括第一摆...

东旭光电取得曲面玻璃抛光机专利,提高抛光效率金融界2024年3月25日消息,据国家知识产权局公告,东旭光电科技股份有限公司取得一项名为“曲面玻璃抛光机“,授权公告号CN109571224B,申请日期为2018年12月。专利摘要显示,本发明公开了一种曲面玻璃抛光机,曲面玻璃抛光机包括治具平动装置以及抛光盘平动装置;治具平动装...

华海清科申请化学机械抛光装置和抛光方法专利,实现在线修整抛光垫...金融界2024年2月8日消息,据国家知识产权局公告,华海清科股份有限公司申请一项名为“一种化学机械抛光装置和抛光方法“,公开号CN117506712A,申请日期为2023年12月。专利摘要显示,本发明公开了一种化学机械抛光装置和抛光方法,所述化学机械抛光装置包括:抛光盘;承载头,用...

⊙▂⊙ 蓝思科技取得抛光装置及具有其的抛光机专利,一次抛光即可实现抛光...金融界2024年1月8日消息,据国家知识产权局公告,蓝思科技股份有限公司取得一项名为“抛光装置及具有其的抛光机“,授权公告号CN220296786U,申请日期为2023年6月。专利摘要显示,本申请涉及一种抛光装置及具有其的抛光机,该抛光装置包括抛光盘和支撑组件,抛光盘包括盘体以...

华海清科申请化学机械抛光系统和抛光方法专利,实现晶圆表面的预清洁本发明公开了一种化学机械抛光系统和抛光方法,所述化学机械抛光系统包括前置单元、抛光单元和清洗单元,三者模块化排列设置;所述抛光单元包括抛光盘和装卸机构,所述装卸机构设置于抛光盘的侧方,用于晶圆的装卸;所述抛光单元与清洗单元之间配置有翻转机构,用于晶圆的翻转;还...

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